X熒光光譜儀是一種利用物質分子內部電子激發躍遷所產生的熒光來研究分子結構的儀器，是通過將樣品受到X射線激發后熒光信號收集，進而分析和確定樣品中元素的類型、濃度以及化學狀態。因此，具有高分辨率、高靈敏度、選擇性和定量分析的優點。

 

　　X熒光光譜儀的主要組成部分包括樣品臺、X射線源、熒光計和電子學系統。樣品臺用于放置樣品，主要有固定和可移動兩種形式。X射線源一般采用射線管，它可以發射出高能X射線，激發樣品產生熒光。熒光計用于檢測和放大熒光信號，將熒光轉換成電信號，通過放大、濾波和調制等操作，輸出信號進行分析和處理。電子學系統包括放大器、高壓穩定器、模數轉換器、計算機等，用于控制和處理熒光信號，并生成熒光光譜圖與分析結果。

 

　　X熒光光譜儀的應用十分廣泛，主要應用于材料分析、地質礦物、元素分析等領域。例如，在材料分析領域，可以用于測定金屬和非金屬材料中的元素含量和質量；在地質礦物學中，可以用于礦物的識別和礦石中金屬元素的含量測定；在環境監測中，可以用于檢測水、土壤和空氣等樣品中有毒或有害物質的濃度等等。

 

　　近年來，隨著計算機技術的廣泛應用和X射線熒光分析技術的不斷完善，以及對樣品形狀、大小、不同元素的相互作用等諸多物理參數(如質量吸收系數、光譜分布、激發因子等)的積累和多種數學校正模式的綜合利用，進行樣品分析時，并不要求測試每個樣品時必須配置相應的標樣。現代的分析軟件包能自動進行匯編分析程序，操作者只要從儀器顯示的元素周期中輸入所要分析的元素，分析程序就會自動設定分析元素所需的測量條件和參數(如X射線管管流和管壓、使用晶體和準直器等)。當然，操作者認為有必要，也可修改匯編參數。